Würmer sind fossil rar und ab dem Kambrium im fossilen Befund bekannt. Nur Kalkröhrenwürmer, umgangssprachlich „Serpeln“, sind in großer Formenbreite seit der Triaszeit belegt. Die Kalkröhren, in denen die Würmer leben, sind bei den meisten Formen auf einen festen Untergrund geheftet und bleiben mit diesem am selben Platz über das gesamte Leben. Meist findet man Kalkröhrenwürmer auf Seeigeln, Ammoniten oder anderen ehemals hartschaligen Fossilien. Gut erhaltene Kalkröhrenwürmer gibt es aus der Oberkreide von Norddeutschland und dem mittleren Jura von Frankreich. Große Raritäten sind kambrische Wurmfossilien aus Chengjiang (CN) und dem Burgess-Shale (CAN).